표면 결함 검사 장치

포토마스크 검사
포토마스크 검사

포토마스크 블랭크 검사
펠리클 검사
EUV 마스크 블랭크 후면 검사
글라스 웨이퍼 검사
글라스 웨이퍼 검사

12" Glass wafer 검사
4", 6" 8" Glass wafer 검사
FPD 포토마스크 검사
FPD 포토마스크 검사

LCD Photomask Blank 검사
OLED Photomask Blank 검사
FPD Glass 표면 검사