모델 : LODAS-Ll

- LCD Photomask Blank 표면 결함 검사
- OLED Photomask Blank 표면 결함 검사
- FPD Glass 표면 결함 검사

특징 :
◎ 6세대, 8세대, 10세대 사이즈 검사 가능.
◎ 표면 결함 뿐만 아니라 내부 결함, 뒷면 결함 동시 검사.
◎ 미분 간섭 현미경으로 표면 결함 판정, 해석.
◎ "AI Classify" 결함 분류, 양부 판정을 실시.
◎ 세계 최초로 반사 산란 투과 산란광, 공촛점 광을 이용한 하이브리드 검사 장치.
     지금까지 타사 검사장비가 측정 못하고 놓치고 있던 결함도 제대로 검사.

대상 결함 : 파티클, 스크래치, 크렉, 홈, 버블 등.

사양 :
◎ Sensitivity : 270nm
◎ 시험 시간 : 120min (G10)
◎ 검사 대상 : G6,G8, G10 Photomask Blank 검사
◎ 장비 크기 : WxDxH = 4500x2500x3000mm
◎ 유틸리티 : AC100V ~ 200V 10A