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표면 결함 검사 장치
일본 LAZIN
모델 : LODAS-Al series
- Photomask Blank 검사
- 패턴 Photomask 검사
- EUV Photomask Blank 후면 검사
- Pellicle 검사
- 자동 샘플 Load / Unload
- Full Automation System
- Confocal, DIC 레이저 현미경 기술 적용
- 모델별 Size 분류
: AI200(80nm), AI100(100nm), AI50(300nm)
특징 :
◎ 자동 Full Automation System 장착
◎ 표면 결함 뿐만 아니라 내부 결함(Option), 후면 결함 동시 검사.
◎ 생산 양산 적용
◎ "AI Classify" 결함 분류, 양부 판정을 실시.
◎ FFU Clean class 유지
◎ 6025마스크, EUV마스크, Pellicle 검사
◎ CCD Camera Review 기능
검출 대상 결함 : 파티클, 스크래치, 크렉, 홈, 버블 등.
모델 : LODAS-DOA
- Photomask Blank 표면 / 내부 검사
- 자동 샘플 Load / Unload
- Full Automation System
- Confocal, DIC 레이저 현미경 기술 적용
- Size 분류
: 표면 150nm(100nm가능), 내부 360nm 검출
특징 :
◎ 자동 Full Automation System 장착
◎ 표면 결함 뿐만 아니라 내부 결함(Option), 후면 결함 동시 검사.
◎ 생산 양산 적용
◎ "AI Classify" 결함 분류, 양부 판정을 실시.
◎ FFU Clean class 유지
◎ 6025마스크 검사
◎ 0.2um CCD Camera Review 기능
검출 대상 결함 : 파티클, 스크래치, 크렉, 홈, 버블 등.
모델 : LODAS-Bl-8
- Photomask Blank 검사
- 패턴 Photomask 검사
- EUV Photomask Blank 후면 검사
- Pellicle 검사
- 수동 샘플 Load / Unload
- Confocal, DIC 레이저 현미경 기술 적용
- 300nm Size 검출
특징 :
◎ 표면 결함 뿐만 아니라 내부 결함(Option), 후면 결함 동시 검사.
◎ 생산 양산 적용
◎ "AI Classify" 결함 분류, 양부 판정을 실시.
◎ FFU Clean class 유지
◎ 6025마스크, EUV마스크, Pellicle 검사
◎ CCD Camera Review 기능
◎ 마스크에 결함 위치 Marking 기능 Option
검출 대상 결함 : 파티클, 스크래치, 크렉, 홈, 버블 등.
LAZIN 장비 소개 동영상입니다