Air 파티클카운터
미국 TSI
Model : AeroTrak 9001
파티클카운터의 최소 측정 사이즈는 0.1 um 가 한계입니다.
이러한 기술적인 제약을 극복하고자 10 nm 측정 용 신규 제품을 출시하였습니다.
기존 CPC(Condensation Particle Counter) 원리를 사용하여 대기 연구용이 아닌 클린룸 전용으로 개발하였습니다, 기존 대기 연구용 CPC는 클린룸용이 아니기 때문에 Zero Count Level 이 좋을 필요가 없고, 샘플 유량도 1 LPM 이면 충분합니다.
하지만 클린룸에서는 완벽한 Zero count level 이 필수이며 또한 샘플 유량도 높아야 클린룸 측정 규격에 맞출 수 있습니다.
AeroTrak 9001은 10nm CPC 이지만 <0.07 ea/cf Zero Count Level 을 구현하였습니다, 또한 샘플유량도 2.83 LPM으로 높습니다.
반도체 제조라인, 공정설비, 부품, 배관, 밸브, Gas Nano Particle 측정 등에 맞춤형으로 개발된 제품입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : Min. Detectable Particle (D50) - 10 nm, Max. Detectable Particle - >3 µm
- Particle Channel Sizes : Single channel
- Counting Efficiency : 50% at 10 nm
- Concentration Limits : 57,000,000 p/Cu. ft @ 10% coincidence
- Working Fluid : Ultra-Pure or De-Ionized Water
- Light Source : Long life laser diode
- Zero Count : < 0.07 count/Cu. ft
- Flow Rate : 0.1 CFM (2.83 L/min)
- Sample Tube Extension : Up to 3 ft (1 m) for 10 nm particles
- Data Storage : 10,000 sample records including date, time, particle concentration, instrument status
- Dimension (H x W x D) : 56.9 cm x 24.6 cm x 21.8 cm
- Weight : 13.0 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 15° to 35° C
- Warranty : One year
Model : AeroTrak 9110
0.1 um Particle Size는 매우 작기 때문에 일반적인 Laser Power로 입자 산란을 시키지 못합니다. 반대로 높은 Laser Power를 사용하면 공기 분자까지 산란되어 Noise가 발생되는 문제가 있습니다, 따라서 Noise 없이 안정적인 0.1 um 파티클
측정 기술은 매우 어렵습니다.
일부 타사에서도 0.1 um 파티클 카운터를 판매하고 있지만 기술 한계로 인한 빈번한 Noise 가성 데이터 오류 문제로 데이터 신빙성을 갖기 어렵습니다
AeroTrak 9110은 30년 이상 검증된 High Power Laser Tube를 사용하여
Noise 대역과 Particle 산란 대역을 충분히 넓혀, Noise에 의한 가성 데이터 문제가 전혀 없습니다.
오랜기간 검증된 품질과 Life Time을 바탕으로, Laser Tube 무상 보증기간을 4년
으로 연장하였습니다. 이는 파티클 카운터의 가장 비싼 Part를 4년간 무상보증 하는 것으로 유지보수 비용을 획기적으로 내릴 수 있습니다.
Size Channel이 8개로 구성되어 있고, 배터리를 최대 4개까지 장착할 수 있어 전원연결없이 최대 6시간 사용 가능합니다.
또한 직관적 동작메뉴와 5.7"의 넓은 터치스크린으로 편리하게 동작할 수 있습니다.
메모리는 10,000개로서 1분단위 측정시 1주일 이상 데이터 저장 가능합니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.100 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.1 / 0.15 / 0.2 /0.25 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 5.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.1 um, 100% for particles > 0.15 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Enhanced active cavity HeNe Laser Tube
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min)
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 10,000 sample records including date, time, particle concentration, instrument status
- Dimension (H x W x D) : 23.6 cm x 20.6 cm x 52.2 cm
- Weight : 11.14 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 10° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser 4 years
AeroTrak+ A100-31 은 0.3 um / 28.3 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.3 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.3 / 0.5 / 0.7 / 1.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.3 um, 100% for particles > 0.45 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min)
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
AeroTrak+ A100-35 는 0.3 um / 50 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.3 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.3 / 0.5 / 0.7 / 1.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.3 um, 100% for particles > 0.45 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 50 L/min
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
AeroTrak+ A100-35 는 0.5 um / 28.3 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.5 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.5 / 0.7 / 1.0 / 3.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.5 um, 100% for particles > 0.75 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min)
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
AeroTrak+ A100-35 는 0.5 um / 50 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.5 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.5 / 0.7 / 1.0 / 3.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.5 um, 100% for particles > 0.75 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 50 LPM
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
AeroTrak+ A100-35 는 0.5 um / 100 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.5 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.5 / 0.7 / 1.0 / 3.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.5 um, 100% for particles > 0.75 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 100 LPM
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
Model : Manifold M32
Particle Counter 를 온라인으로 설치하여 운영하고자 할때 Particle Sensor를 사용하는 방법도 있지만 저렴하게 구축하는 방법으로 Multi Point 측정이 가능한 Manifold를 사용할 수 있습니다.
Manifold는 최대 32 port 가 있어 32 Point 의 샘플을 순차적으로 Particle을 측정할 수 있습니다. 1.0 CFM Particle Counter 또는 내장펌프형 Particle Sensor와 연결하여 사용할 수 있습니다. 샘플 Tube 길이는 최대 38.1m 까지 Particle Loss 없이 사용 가능합니다.
TSI의 Manifold는 Manifold Controller가 따로 필요없이 Software로 직접 control 할 수 있고 통신은 RS232C로 PC와 연결됩니다.
SPECIFICATION
Sample Ports : 32-port capability
Compatibility : Operates with 28.3 L/min TSI Portable Particle Counters
Flow Rate : Nominal 3 CFM (85.0 L/min)
Purge Time : <10 seconds
Cross Talk : <0.2% cross talk between ports
Sample Tubing Size : 3/8” ID, 1/2” OD
Sample Tubing Length : 125 ft (38.1 m)
Fitting Provided : Barbed fitting to accept 3/8” ID tubing
Model : Portable Manifold System
Portable Particle Counter 를 여러 Point에서 자동으로 측정하려고 하면 당사의 Portable Manifold System을 사용하면 가능합니다.
그러나 Manifold용 Blower 의 기동 전류가 매우 높아 라인에서 사용하려고
Power 연결하는 순간 Line Power가 Shut down 되어 라인이 Stop되는 심각한
문제로 인해 사용할 수 없게 되었습니다.
당사의 Portable Manifold System은 Blower의 기동전류를 5A 이내로
획기적으로 개선하여 라인에서 사용하는데 전혀 문제가 없습니다.
TSI의 Manifold를 사용하였으며 Computer로 모든 동작을 컨트롤 할 수 있고
Data 저장도 자동으로 가능합니다.