TSI 가스 파티클 측정 · 고압가스·특수가스 라인 입자 모니터링 파티클카운터
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Gas 파티클카운터
미국 TSI
모델: AeroTrak 9001
10nm / 2.83 lpm
모델: AeroTrak 9110
0.1um / 28.3 lpm
모델: AeroTrak+ A100-31
0.3um / 28.3 lpm
모델: AeroTrak+ A100-35
0.3um / 50 lpm
모델: AeroTrak+ A100-51
0.5um / 28.3 lpm
모델: AeroTrak+ A100-55
0.5um / 50 lpm
모델: AeroTrak+ A100-50
0.5um / 100 lpm
모델: HPD
2.83 / 28.3 / 50 / 100 lpm
2.83 / 28.3 / 50 / 100 lpm
Model : AeroTrak 9001
Gas 파티클은 Air 파티클카운터에 HPD(High Pressure Diffuser)만 연결하면
측정 할 수 있습니다.
Gas는 압력이 높기 떄문에 이를 대기압 수준으로 낮춰주는 악세사리가 필요한데
이것이 HPD 입니다.
HPD도 파티클카운터 샘플 유량에 따라 모델이 달리 적용되어야 합니다.
AeroTrak 9001은 HPD7950과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
파티클카운터의 최소 측정 사이즈는 0.1 um 가 한계입니다.
이러한 기술적인 제약을 극복하고자 10 nm 측정 용 신규 제품을 출시하였습니다.
기존 CPC(Condensation Particle Counter) 원리를 사용하여 대기 연구용이 아닌 클린룸 전용으로 개발하였습니다, 기존 대기 연구용 CPC는 클린룸용이 아니기 때문에 Zero Count Level 이 좋을 필요가 없고, 샘플 유량도 1 LPM 이면 충분합니다.
하지만 클린룸에서는 완벽한 Zero count level 이 필수이며 또한 샘플 유량도
높아야 클린룸 측정 규격에 맞출 수 있습니다.
AeroTrak 9001은 10nm CPC 이지만 < 0.07 ea/cf Zero Count Level 을
구현하였습니다, 또한 샘플유량도 2.83 LPM으로 높습니다.
반도체 제조라인, 공정설비, 부품, 배관, 밸브, Gas Nano Particle 측정 등에 맞춤형으로 개발된 제품입니다.
측정 할 수 있습니다.
Gas는 압력이 높기 떄문에 이를 대기압 수준으로 낮춰주는 악세사리가 필요한데
이것이 HPD 입니다.
HPD도 파티클카운터 샘플 유량에 따라 모델이 달리 적용되어야 합니다.
AeroTrak 9001은 HPD7950과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
파티클카운터의 최소 측정 사이즈는 0.1 um 가 한계입니다.
이러한 기술적인 제약을 극복하고자 10 nm 측정 용 신규 제품을 출시하였습니다.
기존 CPC(Condensation Particle Counter) 원리를 사용하여 대기 연구용이 아닌 클린룸 전용으로 개발하였습니다, 기존 대기 연구용 CPC는 클린룸용이 아니기 때문에 Zero Count Level 이 좋을 필요가 없고, 샘플 유량도 1 LPM 이면 충분합니다.
하지만 클린룸에서는 완벽한 Zero count level 이 필수이며 또한 샘플 유량도
높아야 클린룸 측정 규격에 맞출 수 있습니다.
AeroTrak 9001은 10nm CPC 이지만 < 0.07 ea/cf Zero Count Level 을
구현하였습니다, 또한 샘플유량도 2.83 LPM으로 높습니다.
반도체 제조라인, 공정설비, 부품, 배관, 밸브, Gas Nano Particle 측정 등에 맞춤형으로 개발된 제품입니다.
반도체 제조라인, 공정설비, 부품, 배관, 밸브, Gas Nano Particle 측정 등에 맞춤형으로 개발된 제품입니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : Min. Detectable Particle (D50) - 10 nm, Max. Detectable Particle - >3 µm
- Particle Channel Sizes : Single channel
- Counting Efficiency : 50% at 10 nm
- Concentration Limits : 57,000,000 p/Cu. ft @ 10% coincidence
- Working Fluid : Ultra-Pure or De-Ionized Water
- Light Source : Long life laser diode
- Zero Count : < 0.07 count/Cu. ft
- Flow Rate : 0.1 CFM (2.83 L/min)
- Sample Tube Extension : Up to 3 ft (1 m) for 10 nm particles
- Data Storage : 10,000 sample records including date, time, particle concentration, instrument status
- Dimension (H x W x D) : 56.9 cm x 24.6 cm x 21.8 cm
- Weight : 13.0 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 15° to 35° C
- Warranty : One year
Model : AeroTrak 9110
Gas 파티클은 Air 파티클카운터에 HPD(High Pressure Diffuser)만 연결하면
측정 할 수 있습니다.
Gas는 압력이 높기 떄문에 이를 대기압 수준으로 낮춰주는 악세사리가 필요한데
이것이 HPD 입니다.
HPD도 파티클카운터 샘플 유량에 따라 모델이 달리 적용되어야 합니다.
AeroTrak 9110은 HPD7955와 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
0.1 um Particle Size는 매우 작기 때문에 일반적인 Laser Power로 입자 산란을 시키지 못합니다. 반대로 높은 Laser Power를 사용하면 공기 분자까지 산란되어 Noise가 발생되는 문제가 있습니다, 따라서 Noise 없이 안정적인 0.1 um 파티클
측정 기술은 매우 어렵습니다.
일부 타사에서도 0.1 um 파티클 카운터를 판매하고 있지만 기술 한계로 인한 빈번한 Noise 가성 데이터 오류 문제로 데이터 신빙성을 갖기 어렵습니다
AeroTrak 9110은 30년 이상 검증된 High Power Laser Tube를 사용하여
Noise 대역과 Particle 산란 대역을 충분히 넓혀, Noise에 의한 가성 데이터 문제가 전혀 없습니다.
오랜기간 검증된 품질과 Life Time을 바탕으로,
Laser Tube 무상 보증기간을 4년으로 연장하였습니다.
이는 파티클 카운터의 가장 비싼 Part를 4년간 무상보증 하는 것으로
유지보수 비용을 획기적으로 내릴 수 있습니다.
Size Channel이 8개로 구성되어 있고, 배터리를 최대 4개까지 장착할 수 있어 전원연결없이 최대 6시간 사용 가능합니다.
또한 직관적 동작메뉴와 5.7"의 넓은 터치스크린으로 편리하게 동작할 수 있습니다.
메모리는 10,000개로서 1분단위 측정시 1주일 이상 데이터 저장 가능합니다.
측정 할 수 있습니다.
Gas는 압력이 높기 떄문에 이를 대기압 수준으로 낮춰주는 악세사리가 필요한데
이것이 HPD 입니다.
HPD도 파티클카운터 샘플 유량에 따라 모델이 달리 적용되어야 합니다.
AeroTrak 9110은 HPD7955와 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
0.1 um Particle Size는 매우 작기 때문에 일반적인 Laser Power로 입자 산란을 시키지 못합니다. 반대로 높은 Laser Power를 사용하면 공기 분자까지 산란되어 Noise가 발생되는 문제가 있습니다, 따라서 Noise 없이 안정적인 0.1 um 파티클
측정 기술은 매우 어렵습니다.
일부 타사에서도 0.1 um 파티클 카운터를 판매하고 있지만 기술 한계로 인한 빈번한 Noise 가성 데이터 오류 문제로 데이터 신빙성을 갖기 어렵습니다
AeroTrak 9110은 30년 이상 검증된 High Power Laser Tube를 사용하여
Noise 대역과 Particle 산란 대역을 충분히 넓혀, Noise에 의한 가성 데이터 문제가 전혀 없습니다.
오랜기간 검증된 품질과 Life Time을 바탕으로,
Laser Tube 무상 보증기간을 4년으로 연장하였습니다.
이는 파티클 카운터의 가장 비싼 Part를 4년간 무상보증 하는 것으로
유지보수 비용을 획기적으로 내릴 수 있습니다.
Size Channel이 8개로 구성되어 있고, 배터리를 최대 4개까지 장착할 수 있어 전원연결없이 최대 6시간 사용 가능합니다.
또한 직관적 동작메뉴와 5.7"의 넓은 터치스크린으로 편리하게 동작할 수 있습니다.
메모리는 10,000개로서 1분단위 측정시 1주일 이상 데이터 저장 가능합니다.
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.1 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.1 / 0.15 / 0.2 /0.25 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 5.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.1 um, 100% for particles > 0.15 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Enhanced active cavity HeNe Laser Tube
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min)
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 10,000 sample records including date, time, particle concentration, instrument status
- Dimension (H x W x D) : 23.6 cm x 20.6 cm x 52.2 cm
- Weight : 11.14 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 10° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser 4 years
Model : AeroTrak+ A100-31
TSI 파티클 카운터 신모델로 출시된 AeroTrak+ A100 시리즈 입니다.
기존 AeroTrak 모델 대비 많은 기능 추가를 실현하였습니다.
AeroTrak+ A100-31 은 0.3 um / 28.3 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
HPD7960과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
1. 레이저 무상 보증 기간 5년
2. 데이터 메모리 250,000 samples (1분 샘플의 경우 173일 데이터 저장 가능)
3. NFC 터치로 Log-in 가능
4. 데이터 다운로드시 Wifi 사용 가능
5. 측정 종료시 데이터 색깔 변화 가능으로 Location별 데이터 직관 용이
6. 측정 시 장비 상단 Light Bar 색깔 변화 기능으로 현재 동작 상태 판단 용이
7. 파티클 사이즈 미세 조정 가능(ex: 0.3um - > 0.35um)
8. EU GMP Annex 1:2022, China GMP, ISO 14644:2015 Standard 적용
9. 최소 무게 실현 : 5.4 kg
10. PDF 보안 출력, 한글 메뉴
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.3 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.3 / 0.5 / 0.7 / 1.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.3 um, 100% for particles > 0.45 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min)
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
Model : AeroTrak+ A100-35
TSI 파티클 카운터 신모델로 출시된 AeroTrak+ A100 시리즈 입니다.
기존 AeroTrak 모델 대비 많은 기능 추가를 실현하였습니다.
AeroTrak+ A100-35 는 0.3 um / 50 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
HPD7960과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
1. 레이저 무상 보증 기간 5년
2. 데이터 메모리 250,000 samples (1분 샘플의 경우 173일 데이터 저장 가능)
3. NFC 터치로 Log-in 가능
4. 데이터 다운로드시 Wifi 사용 가능
5. 측정 종료시 데이터 색깔 변화 가능으로 Location별 데이터 직관 용이
6. 측정 시 장비 상단 Light Bar 색깔 변화 기능으로 현재 동작 상태 판단 용이
7. 파티클 사이즈 미세 조정 가능(ex: 0.3um - > 0.35um)
8. EU GMP Annex 1:2022, China GMP, ISO 14644:2015 Standard 적용
9. 최소 무게 실현 : 5.4 kg
10. PDF 보안 출력, 한글 메뉴
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.3 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.3 / 0.5 / 0.7 / 1.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.3 um, 100% for particles > 0.45 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 50 L/min
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
Model : AeroTrak+ A100-51
TSI 파티클 카운터 신모델로 출시된 AeroTrak+ A100 시리즈 입니다.
기존 AeroTrak 모델 대비 많은 기능 추가를 실현하였습니다.
AeroTrak+ A100-35 는 0.5 um / 28.3 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
AeroTrak 9510은 HPD7960과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
1. 레이저 무상 보증 기간 5년
2. 데이터 메모리 250,000 samples (1분 샘플의 경우 173일 데이터 저장 가능)
3. NFC 터치로 Log-in 가능
4. 데이터 다운로드시 Wifi 사용 가능
5. 측정 종료시 데이터 색깔 변화 가능으로 Location별 데이터 직관 용이
6. 측정 시 장비 상단 Light Bar 색깔 변화 기능으로 현재 동작 상태 판단 용이
7. 파티클 사이즈 미세 조정 가능(ex: 0.3um - > 0.35um)
8. EU GMP Annex 1:2022, China GMP, ISO 14644:2015 Standard 적용
9. 최소 무게 실현 : 5.4 kg
10. PDF 보안 출력, 한글 메뉴
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.5 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.5 / 0.7 / 1.0 / 3.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.5 um, 100% for particles > 0.75 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min)
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
Model : AeroTrak+ A100-55
TSI 파티클 카운터 신모델로 출시된 AeroTrak+ A100 시리즈 입니다.
기존 AeroTrak 모델 대비 많은 기능 추가를 실현하였습니다.
AeroTrak+ A100-35 는 0.5 um / 50 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
AeroTrak 9550은 HPD7960과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
1. 레이저 무상 보증 기간 5년
2. 데이터 메모리 250,000 samples (1분 샘플의 경우 173일 데이터 저장 가능)
3. NFC 터치로 Log-in 가능
4. 데이터 다운로드시 Wifi 사용 가능
5. 측정 종료시 데이터 색깔 변화 가능으로 Location별 데이터 직관 용이
6. 측정 시 장비 상단 Light Bar 색깔 변화 기능으로 현재 동작 상태 판단 용이
7. 파티클 사이즈 미세 조정 가능(ex: 0.3um - > 0.35um)
8. EU GMP Annex 1:2022, China GMP, ISO 14644:2015 Standard 적용
9. 최소 무게 실현 : 5.4 kg
10. PDF 보안 출력, 한글 메뉴
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.5 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.5 / 0.7 / 1.0 / 3.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.5 um, 100% for particles > 0.75 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 50 LPM
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
Model : AeroTrak+ A100-50
TSI 파티클 카운터 신모델로 출시된 AeroTrak+ A100 시리즈 입니다.
기존 AeroTrak 모델 대비 많은 기능 추가를 실현하였습니다.
AeroTrak+ A100-35 는 0.5 um / 100 LPM 파티클 카운터 모델입니다.
AeroTrak 9500은 HPD7960과 연결하면 Gas 파티클을 측정할 수 있습니다.
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
1. 레이저 무상 보증 기간 5년
2. 데이터 메모리 250,000 samples (1분 샘플의 경우 173일 데이터 저장 가능)
3. NFC 터치로 Log-in 가능
4. 데이터 다운로드시 Wifi 사용 가능
5. 측정 종료시 데이터 색깔 변화 가능으로 Location별 데이터 직관 용이
6. 측정 시 장비 상단 Light Bar 색깔 변화 기능으로 현재 동작 상태 판단 용이
7. 파티클 사이즈 미세 조정 가능(ex: 0.3um - > 0.35um)
8. EU GMP Annex 1:2022, China GMP, ISO 14644:2015 Standard 적용
9. 최소 무게 실현 : 5.4 kg
10. PDF 보안 출력, 한글 메뉴
SPECIFICATION
- Particle Size Range : 0.5 to 10 µm
- Particle Channel Sizes : 0.5 / 0.7 / 1.0 / 3.0 / 5.0 / 10.0 um
- Counting Efficiency : 50% at 0.5 um, 100% for particles > 0.75 um (per ISO 21501-4 and JIS)
- Sampling Mode : Auto, Manual, Beep, Cummulative/Diff, Count or Concentration
- Sampling Time : 1 sec to 99 hours
- Light Source : Long Life Laser Diode
- Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS)
- Flow Rate : 100 LPM
- Communication : Modbus TCP over Ethernet or USB
- Data Storage : 250,000 sample records
- Dimension (H x W x D) : 22.6 cm x 25 cm x 22.2 cm
- Weight : 5.4 kg
- Power : 110 to 240 VAC universal power supply
- Operating Range : 2° to 35° C
- Warranty : 2 years, Laser Warranty : 5 years
Model : HPD 7950, HPD 7955, HPD 7960
Gas는 압력이 높기 떄문에 이를 대기압 수준으로 낮춰주는 악세사리가 필요한데
이것이 HPD(High Pressure Diffuser) 입니다.
만일 HPD 없이 파티클 측정한다면 고압으로 인해 파티클카운터가 손상됩니다.
또한 HPD도 파티클카운터 샘플 유량 및 파티클 사이즈에 따라 모델 선정을
아래와 같이 적용하여야 합니다.
- HPD7950 : 2.83 lpm
- HPD7955 : 28.3 lpm / 0.1 um
- HPD7960 : 28.3 ~ 100 lpm / 0.3 or 0.5 um
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다
Gas는 압력이 높기 떄문에 이를 대기압 수준으로 낮춰주는 악세사리가 필요한데
이것이 HPD(High Pressure Diffuser) 입니다.
만일 HPD 없이 파티클 측정한다면 고압으로 인해 파티클카운터가 손상됩니다.
또한 HPD도 파티클카운터 샘플 유량 및 파티클 사이즈에 따라 모델 선정을
아래와 같이 적용하여야 합니다.
- HPD7950 : 2.83 lpm
- HPD7955 : 28.3 lpm / 0.1 um
- HPD7960 : 28.3 ~ 100 lpm / 0.3 or 0.5 um
압력 허용 범위는 30~120 PSI 입니다