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Facility Monitoring System

미국 TSI

모델 : FMS

클린룸 통합 환경 모니터링 시스템.

클린룸 파티클 실시간 모니터링 구현시,

FMS(Facility Monitoring Software)를 사용합니다.

TSI에서 공급하는 FMS는 클린룸 GMP Validation CSV 21CFR Part 11 Compliant 를 준수하며,

Particle 외 모든 Factor들 (온/습도,차압,부유균,유속,알람비컨 등)의
실시간 모니터링이 가능합니다.

FMS는 특정한 제조사의 서버시스템과 같은 Hardware 사용을 강제하지 않아, 

사용자가 원하는 사양의 Hardware를 자유롭게 선택하여 사용할 수 있습니다.

또한 OPC UA Server/Client 가 적용되어 OPC가 연결 가능한 상위 BMS에 연결하면 생산공장 통합 모니터링도 간편하게 구현합니다


OPC UA 적용으로 상위 BMS와 연결 통합관리 가능


클린룸 환경 통합 모니터링 시스템 컨셉