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클린룸 VOC Analyzer
미국 Ametek Mocon

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Model : Baseline 9100


Baseline® 9100 온라인 가스 크로마토그래프는 최첨단 기술과 가스 크로마토그래피의 신뢰성과 유연성을 결합하여 반도체, 디스플레이 클린룸 VOC를 온라인
분석할 수 있습니다.
 
​온라인 모니터링을 위하여 Multiport 샘플링이 가능하며 Rack 시스템으로 
클린룸 특화 모니터링 시스템으로 구성합니다

Baseline 9100은 GC HS-PID 구성으로 첨단 반도체, 디스플레이 클린룸
VOC를 온라인으로 분석할 수 있습니다. (HS : High Sensitive)

초정밀 PID 센서는 극미량의 VOC 성분을 ppt 단위까지 검출함으로서 
많은 세계 반도체 제조회사 클린룸의 VOC 모니터링 분석기로 사용하고 
있습니다

검출 컴파운드 : 
PGMEA, PGME, Acetone, Ethane, Methane, Benzene, Ethanol, Toluene, Ethylbenzene, m,p,o-Xylene, Isopropanol, TVOC 등 

Low Detection Limit : 0.1 ppb
Measurement Range : 0 to 100 ppb

Multi Sampler를 사용하여 여러 샘플 포인트를 순차적으로 분석 가능합니다.

AMC사진.jpg
SPECIFICATION
Detector
Selected by application:
Flame Ionization (FID)
Photoionization (PID)
High-sensitivity PID (HS-PID)
Thermal Conductivity (TCD)
Sampling
Single or multipoint (4 or 8 pt) internal samplerInternal pump option
​Optional external sampler (Baseline 9150) for  >8 sample points
Columns
Packed, micro-packed, or capillary specific to application
Connections
1/4”or 1/8” OD tube compression fitting or 1/8” legris
Sampling
Internal single or multi-point, pump optional
Alarms
Multilevel concentration and fault alarms, audible and visual
Calibration
Automatic or manual using a dedicated standard
Calibration Methods
Gas cylinder, permeation calibrator, or response factors
Display
7” color LCD touchscreen
Outputs/Inputs, Standard
RS-232LAN/Ethernet2 USB ports for
Outputs/Inputs, Optional
I/O Board: 6 digital inputs, 5 relays as contact closures, 1 analogAnalog Board: 4 or 8 configurable as 4-20mA or 0-20mA
Relay Board: 8 or 16 programmable contact closures
Operating Temperature
32 to 104°F (0 to 40°C)
Operating Humidity
0 to 95% (non-condensing)
Configuration
Benchtop or 19” (48.3cm) rack-mount, 3U