프랑스 Bertin Instruments
Model : Cleapart-100
5um 이상 Size의 Big Size Particle은 파티클카운터로 측정은 가능합니다.
하지만 파티클카운터 내장 펌프 한계로 인해 대부분 샘플 튜브에 침착되거나(Particle Loss), 파티클 무게로 인해 Detection Optic 까지 이동이 힘들어 측정이 사실상 어렵습니다.
5um 이상되는 Big Size Particle은 클린룸에서 대부분 중력 낙하하여 낙진화 되므로 일반 파티클카운터로는 측정이 매우 어렵습니다.
따라서 파티클 카운터에서 파티클이 검출되지 않는데도 생산 제품에서
Big Size 파티클에 의한 불량이 발생합니다.
Big Size Particle은 그 자체가 무겁기 때문에 클린룸 HVAC Flow의 영향도 크게 없어 Return Air와 함께 없어지지 않고 Critical Area에서 낙하하며 잔존하게 됩니다, 특히 작업자의 복장이나 장갑, 설비 자체에서 많이 발생합니다.
Cleapart-100은 카메라 기술을 이용하여 5 um 이상 Particle을 100㎤ 면적의 Glass Panel 에서 detection 합니다
Particle 측정범위는 기본 5 um에서 100 um 이상이지만,
1,000 um 이상도 추가할 수 있습니다.
특히 제약 클린룸에서 낙하균을 관리하는데 항상 배양을 통해서 그 결과를 알 수 있습니다. Clearpart-100은 낙하균 존재 유무를 실시간으로 파악하도록 개발된 제품으로 낙하균 관리작업의 Time loss 를 줄여 원가절감에 기여합니다.
Detection specification
1. Pixel size: 2 μm
2. Number of pixels/scan: 1970 Megapixels
3. No periodic calibration needed (self calibration)
Data는 실시간으로 그래프,엑셀히스토리로 View 및 저장 됩니다.
Particle Shape도 확인할 수 있으며 각 Particle의 크기도 동시에 확인 가능합니다
여러대를 동시에 모니터링 가능하며, Lan 또는 무선 Wireless 통신으로 연결 가능합니다. 스마트폰이나 태블릿PC로 간편한 Operation을 구현하였습니다.
카메라기술을 이용한 실시간 낙진파티클(Big Size Particle) 모니터링 시스템을 구축하여 공정불량에 의한 큰손실을 미연에 방지하는 효과를 만들 수 있습니다.
디스플레이,반도체, PCB, 제약/바이오, 항공우주 산업 클린룸의 실제 공정불량을 유발하는 낙진파티클, 부유입자, 표면파티클 실시간 측정에 활용하시기 바랍니다
Detection specification
1. Pixel size: 2 μm
2. Number of pixels/scan: 1970 Megapixels
3. No periodic calibration needed (self calibration)
Data output
1. Detected particules: ≥ 5μm
2. According to your predefined standard : >5 – >15 – >25 – >50 – >100μm
(IEST 1246D as an example)
3. Measurement time: » 7 mn/scan
4. Data sorted on table
5. First and last scan images available
6. Scan programmation (date and frequency)
7. Cumulative output and by events
Collecting surface
1. 100 cm²
2. SiO2 glass material (other transparent glass available upon request)
3. Cleanable surface (cleaning procedure provided)
Physical
1. Dimensions
1) 210x210x200mm (for single unit)
2) 210x210x300mm (for networked units)
2. Weight: < 6kg (single unit only)