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AMCAMC - MultiPort System

AMC
MultiPort System

최적의 생산 조건을 달성하기 위해서는 클린룸 내부의 생산에 영향을 미치는 공기에 대한 장, 단기적인 관리가 매우 중요한 요소입니다.
특히 클린룸 내부로 직접 유입되는 외부 공기에 대한 Monitoring의 중요성은 매우 크며, 향후 적합한 외기 공조 시설과 유지 보수 시스템을 구축하기 위해 반드시 필요한 항목이 되었습니다.
따라서 공장 외부 공기 오염 모니터링 장치를 설치함으로써 내부 조건의 변화에 따라 능동적인 대처를 가능케 하며, 이로 인해 공정 설비의 효율과 생산 설비의 최적화 된 조건을 만들어 줄 수 있습니다.

생산 공정에 영향을 주는 주요 인자들을 설정하고 이에 대한 외기의 실시간 모니터링을 통해 오염원과 변화를 관리하고, 생산에 영향을 줄 수 있는 인자를 찾아내어 사전에 대응 및 사고 예방에 활용할 수 있습니다.

Multi Port SAMPLER SYSTEM과 연동함으로써 외기 공조시스템의 여러 위치를 동시에 모니터링이 가능한 구조로 되어 있어 활용에 효율을 높일 수 있습니다.

제품 생산과정 이외에도 대기 오염 연구에 필수적인 것이 Air Molecular Contamination 입니다. 당사는 NH3, SOx, NOx, HCL, HF, O3 등 다양한 성분을 분석할 수 있는 분석기와 Multi Port System을 공급하고 있습니다, Multi Port System은 Particle Counter 도 같이 접목 가능합니다.

Multi Port System 은 Port 간의 간섭이 없어야 하고 흡착도 없어야 정밀 분석이 가능합니다, 당사에서 공급하는 Multi Port System은 16 port 이상 가능하며 흡착, 간섭 문제 없이 어떠한 분석기라도 접목 가능합니다. 샘플 튜브도 100m 이상 길이에도 문제 없습니다.현재 국내 반도체회사에서 O3, NH3 모니터링용으로 사용되고 있습니다.